Sputtering systems are used for depositing metal and dielectric thin films on substrates. 通过在基板上的特定层中沉积不同类型的材料，可以制造出各种类型的薄膜，如太阳能电池或微芯片。

该系统具有用户友好的界面和多功能涂层系统，可用于广泛的纳米制造应用。

视频介绍

示例用例：

• 用于生产太阳能电池的硅衬底涂层
• 通过添加金属涂层赋予非导电基材导电性能。

表面轮廓测量仪用于捕获样品的表面和轮廓数据，以便以非常高的精度测量粗糙度，平整度或其他关键的2D和3D尺寸。

这些测量原理通常用于过程控制应用，其中最终产品必须满足某些规格的平面度。

示例用例：

• 用溅射工具测量涂层的平整度。
• 负责生产线的质量控制

Anatech HUMMER 6.2执行溅射涂层，这是一种冷过程，离子撞击金属源使金属原子脱落。 原子分散在整个工艺室中，均匀地涂覆不规则形状的样品而不会产生热损伤。 溅射涂层可生产高质量的涂层，其厚度可重复且易于控制。

悍马6.2也有一个碳涂层附件，用于涂层SEM样品，以减少由于电子束而发生的充电量。 这可以产生更高质量的非金属样品的SEM图像。

示例用例：

• 碳包覆SEM样品，减少充电效应
• 样品能涂上金和铂吗